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離子束沉積作為納米結(jié)構(gòu)的基本組成單元，團簇或納米顆粒在納米科學(xué)中具有關(guān)鍵的地位。我們設(shè)計研制了兩套氣體聚集型團簇源：基于熱蒸發(fā)的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體聚集型團簇源。以團簇源為中心構(gòu)成了團簇束流實驗和沉積系統(tǒng)。

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